现任中国科学院微电子研究所党委委员、所长助理、微细加工与纳米技术研究室主任，研究员，博士生导师，中国科学院研究生院兼职教授。主持参与了多项国家973、863项目。在国际上首次采用软X射线曝光技术实现了256位分子存储器;在32nm技术节点以下的非挥发性存储器替代方案上，提出了利用金属掺杂的技术手段来提高阻变存储器(RRAM)性能和成品率的方法，成为国际上最早提出此概念的两个小组之一，在渐进型的非挥发性存储器替代方案上，着眼于纳米晶浮栅存储结构(Nano-Floating Gate)。