9月28日上午,北京印刷学院刘忠伟教授应邀在“高电压新技术及其应用”课堂上在线为2019级电气专业本科生,及我院部分高电压方向教师、研究生做了题为“几种先进等离子体加工技术的介绍”的学术交流报告。报告会由电控学院刘峰教授主持。
刘老师首先介绍了他们课题组在食品包装和医疗领域中等离子体辅助化学气相沉积制备高阻隔薄膜的应用实例。在等离子体辅助原子层沉积部分,刘老师详细阐述了其原理和在半导体领域、荧光粉包覆和催化剂制备中的应用。之后,刘老师通过介绍半导体领域Bosch工艺和低温工艺刻蚀存在的缺点,引出了当前研究热点也是他们将要开展的原子层刻蚀技术技术。刘老师的报告深入浅出,循序渐进,具有较强的科学价值和应用价值,报告尾声,师生与刘老师进行互动交流。
刘忠伟,工学博士,教授,硕士生导师,博士毕业于大连理工大学应用化学专业,现任职于北京印刷学院等离子体物理与材料研究室。中国电工技术学会等离子体及应用专业委员会委员、中国环境科学学会绿色包装委员会委员。2009年入选北京市委组织部“优秀人才”培养计划, 2014年当选北京市属高等学校高层次人才引进与培养—青年拔尖人才培育计划。
作者:刘峰(电气工程与控制科学学院);审核:陈晨子